隧道防火板蒸發源加熱溫度的高低,會改變蒸氣壓的數值而直接影響到鍍膜材料的蒸發速率和蒸發方式,蒸發溫度過低時,材料蒸發速率低,薄膜生長速率也低,而過高的蒸發溫度,不僅會導致蒸發速率過高,而且使蒸發原子相互碰撞,甚至因蒸發材料內氣體迅速膨脹而形成蒸發原子飛濺。
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